第(1/3)页 他没有多解释功能,没有念说明书。 只说了一句: “按住左键往右拖。” “红线是多晶硅,蓝线是金属层。” “你画多长,它就多长。” 张秉谦慢慢伸出手。 他的手指又粗又糙,指甲缝里嵌着洗不掉的胶带残胶。 食指和中指的第二关节上有厚厚的茧。 那是长年握镊子留下的。 鼠标在他掌心里显得格外小巧。 他点了一下“金属层”。 然后按住左键,小心翼翼地,往右一拖。 唰。 一条笔直的蓝色线段出现在屏幕上。 起点坐标、终点坐标、线宽。 全部清清楚楚地实时显示在底部状态栏里。 精确到0.1微米。 车间里依然没人出声,静得能听见呼吸声。 但小王慢慢站直了身子。 他转头,呆滞地看了一眼脚下那片铺满地面的坐标纸。 上面密密麻麻的红蓝胶带,是七个人趴了三个月的成果。 屏幕上这条蓝线,张秉谦画了不到两秒钟。 张秉谦又画了一条。 再一条。 第四条线的时候,他的手抖了一下。 红线歪了。 那条代表多晶硅的红色线段斜着划出去。 直直地朝另一根已经画好的蓝色金属层冲过去。 按照老规矩,这叫短路。 在地上贴胶带的时候。 这种错误藏在几万根线里。 得几十个人拿放大镜,趴在地上查半个月。 还不一定能全找出来。 要是运气不好漏掉一根,流片出来就是彻头彻尾的废硅。 几百万打水漂。 小王下意识喊了一声: “歪了......” 话没说完。 “滴——!” 长城机的蜂鸣器响了。 清脆,短促。 屏幕上,那根歪掉的红线瞬间变成了刺眼的黄色。 线的末端顶在一道看不见的墙上,怎么拖都拖不过去。 状态栏弹出一行红字: “违反最小间距规则。” “当前间距3.2μm,最小允许间距5.0μm。” 第(1/3)页